日本HORIBA S49 32系列氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器（流量計）
特點及應用領域
氣體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S49 系列質量流量控制器（流量計）特點：
*閥體采用不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。線路板、閥體、彈簧等為重要零部件，均執行嚴格的入廠標準
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準
*高精度
*重復性好
*軟啟動、穩定可靠
*低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）
*便于與計算機連接實現自動控制

S49 系列質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
*半導體制造行業的氣體流量控制
*分析儀器設備的氣體計量與控制
*各種形式的真空鍍膜設備
*環境檢測與分析設備
*化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制
*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統和泄漏探測系統等

S49 系列質量流量控制器(流量計)
質量流量計主要**測量氣體流量，質量流量控制器不但具有質量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。
執行 Q/CYHMT0001-2017 企業標準

日本HORIBA S49 32系列氣體質量流量控制器主要技術指標
質量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為：標準狀態 mL/min（毫升/分鐘) （SCCM 行業標準）
標準狀態 L/min （升/分鐘） （SLM行業標準）
標準狀態為：溫度----273.15K（0℃）
氣壓----101325Pa（1atm）
F.S.(Full Scale)：表示滿量程值